Sistema de Polvorització Catòdica al Buit El Sistema de Polvorització Catòdica d'Alt Buit és una màquina que diposita capes primes metàl·liques i dielèctriques sobre substrats de fins a 300 mil·límetres. El sistema utilitza fonts de polvorització per magnetró alimentades per radiofreqüència, corrent continu o corrent continu polsat, treballant en mode individual o en mode de co-deposició. Una estructura modular permet una instal·lació, transport i manteniment senzills. La carcassa està fabricada en acer laminat en fred amb conformat de xapa metàl·lica i acabat a l'esprai, un bastidor interior d'alumini i una coberta acrílica translúcida de color gris. La pantalla de control segueix principis ergonòmics.

Nom del projecte : Ultra High Vacuum Sputtering System, Nom del dissenyador : Yong Zhang, Nom del client : Huaiyin Institute of Technology & Liaoning Petrochemical University.